純水又稱純凈水，是指以符合生活飲用水衛生標準的水為原水，通過電滲析器法、離子交換器法、反滲透法、蒸餾法及其他適當的加工方法，制得的密封于容器內，且不含任何添加物，無色透明，可直接飲用的水。市場上出售的太空水，蒸餾水均屬純凈水。

超純水是在純水的基礎上進一步將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.25MΩ*cm極限值。超純水是一般工藝很難達到的程度，可以將微濾技術、超濾技術、反滲透技術、EDI技術，離子交換技術中的兩種及以上的技術，通過合理的工藝設計，設備選型，方可制造出超純水，電阻率可達18.20MΩ*cm。

要獲得超純水就需要超純水儀設備，超純水儀主要應用對水質要求相當高領域。在化學有機物或無機物痕量分析中，例如總有機碳（TOC）測量，以及儀器分析方法如HPLC，ICP-MS和IC.生命科學應用中對水質要求更高。

超純水機是在反滲透技術的基礎上，添加了離子交換和終端處理技術。有些還有深度離子除鹽、超濾和UV光氧化作用設備，出來的水水質優于國標GB/T6682-2008實驗室一級用水的水質要求。